Минпромторг замещает импортное оборудование для производства микросхем 65 нм. Об этом пишет «Телеспутник».
Министерство промышленности и торговли РФ объявило открытый конкурс на опытно-конструкторские работы (ОКР) по разработке оборудования для производства интегральных схем (ИС) с топологическими нормами до 65 нм.
Полностью наименование закупки звучит как «ОКР "Разработка и освоение производства гелий-неоновых лазеров и фотоприёмников для систем позиционирования оборудования, применяемого в производстве ИС с топологическими нормами до 65 нм", шифр "Прогресс-Позиция"».
Сроком окончания подачи заявок указывается 9 декабря. Начальная (максимальная) цена договора составила 175 млн руб.
Комплект, разработку которого проведёт поставщик, предназначается для замены лазеров модели 5517C и фотоприёмников моделей E1709A и 10780F производства американской компании Keysight в иностранном оборудовании, а также в действующем и разрабатываемом отечественном оборудовании, применяемом в производстве ИС (интегральных схем) с проектными нормами до 65 нм.
В перечне оборудования, в каком планируется использовать импортозамещённые лазеры и фотоприёмники, указываются литографические степперы и сканеры Nikon, метрологические РЭМ (машины испытательные универсальные) для контроля критических размеров Hitachi, установки контроля дефектности на п/п пластинах AMAT Compass, установки лазерного устранения недопустимых недостатков на фотошаблонах, установки электронно-лучевой литографии.
Система позиционирования оборудования предназначается для чёткого наложения слоёв на фотошаблон при производстве интегральных схем (микросхем). При этом зазор, с которым накладываются слои, значительно меньше, чем необходимые 65 нм. В такой работе важна высокая достоверное событие.
Фото: Freepik